測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭、 大規模集成電路 線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產作業線及科學研究等部門。工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360度的旋轉，亦可以進行高度方向做Z坐標的測量；采用雙筒目鏡觀察。照明系統除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計算機進行數據處理等測量。

光學測量顯微鏡

采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。主要運用于錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產作業線及科學研究等部門。

主要優點：工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360度的旋轉，是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。

數碼測量顯微鏡

一種將將顯微鏡看到的實物圖像通過數模轉換，使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計算機上的顯微鏡設備。特別適用于制造業、精密零件以及不方便

移動的物件的觀察測量。廣泛地適用于生產作業線及科學研究等部門。

主要優點：小巧便攜，只需一臺計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像，進行精確數據測量、拍照備份圖片及數據資料;還可以根據客戶需要定制特種光源（熒光、紅外）用于特殊場所觀測。數碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實用的精密測量儀器。

Z軸非接觸式

以裂像聚焦指示器為測量原理, 采用高精度光學聚焦點檢測方式進行非接觸高低差測量。不僅可以對準目標影像, 還能觀察測量點的表面狀態,對高度,深度,高低差等進行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉，金相，偏光等多種觀察功能。所以對極細微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細微劃痕、以及金相組織進行觀察

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